Mamou sa stala ako 47-ročná, dcérku menom Raddix Chloe Wildflower Madden jej a manželovi 30. decembra 2019 v Los Angeles porodila náhradná matka. Zo slávnej blondínky, ktorá zažiarila vo filmoch ako Charlieho anjeli, Vanilkové nebo, Niečo na tej Mary je či Maska, sa stala mama na plný úväzok, prácu odstavila na vedľajšiu koľaj.
O svojich plánoch v tomto smere porozprávala v rozhlasovej šou Quarantined With Bruce, od dcérky odísť neplánuje, rodina je pre ňu dôležitejšia ako práca. „Na toto som sa veľmi tešila, takže nepociťujem žiadnu nervozitu,“ opísala v súvislosti s tým, či sa chystá opäť pred kamery nejakého filmu.
Na otázku, či už nikdy nebude nakrúcať žiaden film, odpovedala: „Slovo nikdy asi nepoviem, nie som taký typ človeka. Ale teraz si neviem predstaviť, že by som odišla od dcérky a strávila na pľaci 14 či 16 hodín bez nej, ako sa bežne počas nakrúcania stáva.“ Ako dodala, v tomto období sa cíti v porovnaní s ostatnými matkami svojím spôsobom privilegovaná, pretože, keď nechce, do práce chodiť nemusí. „Cítim sa požehnaná tým, že som matkou, som za to nesmierne vďačná.“
Cameron Diaz sa v roku 2015 Diaz vydala za muzikanta Benjiho Maddena z kapely Good Charlotte. Pre magazín InStyle v minulosti o svojom manželstve povedala: „To, že som sa zaňho vydala, bolo to najlepšie, čo sa mi mohlo stať. Môj manžel je ten najlepší! Je to najúžasnejší človek a môj úžasný partner.“